Super-Polished Optics

 

초연마가공은 통상적인 가공에 쓰이는 연마입자보다 수십 배 작은 상태로 연마하는 방식입니다. 초연마가공을 통해 광학 표면조도(Surface Roughness)를 서브나노 스케일로 구현하여 광학성능을 향상시키고 산란손실을 최소화시키는 것이 가능합니다. 또한 통상적인 연마 방식에서 필연적으로 동반되는 잠재된 내부결함(Micro-crack)을 최소화시켜 스트레스가 적고 신뢰성이 높으며, 표면결함(Scratch/Dig) 및 파티클도 최소화되어 완벽한 광학표면 구현이 가능합니다. 이러한 우수한 광학적 표면성능은 초저손실 광학계에서 ppm급(0.000x%) 손실 특성을 보장하며, 또한 고출력 레이저 광학계에서도 높은 내구성과 레이저 손상(Laser Damage)이 없는 긴 수명의 고성능 레이저 광학부품 특성을 보장합니다.

• Surface Roughness : Å
• Surface Scattering & Absorption Loss at ppm level
• Particle Free, Scratch/Dig Free
• Ideal for use with high power lasers and other low-loss applications
• Substrate Materials : Fused Silica, Zerodur, BK-7

광학 면에 대한 고형상(Figure) 구현은 정밀 광학계에서 필수적이며, 이러한 고형상 광학 표면을 대면적으로 구현하는 것이 핵심 기술입니다. 통상적인 연마방식에 의한 표면 형상은 가공 대상과 이를 지지하는 정반이 서로 맞물려서 압력을 가하는 방식으로써, 형상 구현 정밀도의 한계뿐만 아니라 국소적 형상보정이 불가능하고, 또한 가공이 진행됨에 따라 정반이 함께 가공 변형되는 문제와 작업자의 숙련도에 의존하는 한계가 존재합니다. 따라서 광학 표면을 초고형상으로 구현하기 위해서는 통상적인 연마방식에 따른 가공 결과물의 형상을 판독하여 점가공 방식으로써 계산된 지점을 수정 가공하는 보정(Finishing) 개념이 필요합니다. 이러한 점 보정가공 방식은 기판에 스트레스를 주지 않으며 자동화로 진행되므로 재현성이 높습니다. 이러한 '측정 후 보정' 점 가공방식을 적용하면 광학 표면의 형상정밀도를 측정 장비의 측정한계치까지 높일 수 있으며, 이를 통해 대면적 기판에 대한 원기(Master) 제작도 가능케 합니다.

• Surface Figure : λ/20
• Large Area Substrates : 150 mm²
• Stress-free Optics
• Substrate Materrials : Fused Silica, Zerodur, BK-7