High Precision Machining Block

열팽창계수가 매우 낮은 광학소재(LTEM)에 대한 평행도와 각도 성능을 초단위 스케일로 구현하며, 또한 광학소재에 대한 기계가공 공차를 매우 정밀하게 제어하는 기술입니다. 기하학적으로 정밀하게 구현된 LTEM소재는 부품과 결합하여 광학적으로 정렬된 상태를 구현하거나 또는 마운트된 부품들 간의 상호 광학접합을 통해 여러 부품을 결합하여 일체화된 모듈 제작이 가능합니다. LTEM 소재의 안정된 온도특성과 환경에 대한 높은 내구성으로 고정밀 광학계측 모듈 또는 레이저 모듈에 적용될 수 있습니다.

• Parallelism, Perpendicularity, Angle accuracy : 2 arcseconds
• Size Tolerance : 2um
• High uniformity and run-to-run repeatability
• Outstanding environmental stability
• Materials : Fused Silica, Zerodur, ULE

광학접합은 접합표면의 분자간 결합(Van-der-waals)을 유도하여 매우 견고하게 접합을 유지하는 방식입니다. 접합을 위해 접착제나 용접 또는 기계적 방법을 하지 않으므로, 접합에 의한 변형이나 변위, 그리고 스트레스를 유발시키지 않습니다. 또한 접합력이 매우 높고, 광학적 경계면이 사라지는 효과를 얻을 수 있으며, 오랜 시간동안에도 접착력이 유지되고 환경적 특성도 우수합니다. 특히 각 단위 부품들이 매우 정밀한 치수로써 제작되었을 경우, 광학접합을 통해 결합된 최종적 제품의 치수정밀도도 매우 정밀하게 유지가 가능하므로, 정밀 가공된 광학부품에 대한 일체화 결합 용도에 매우 유용합니다. 광학접합 이상의 결합력 또는 환경특성이 요구되는 경우에는 광학접합 기술을 기반으로 한 고온 고진공 공정을 통한 광학결합(Deep Optical Contact : DOC) 공정을 사용한 방식도 제공되고 있습니다. 광학접합 또는 광학결합 기술들로 여러 단위 부품들을 이상적으로 결합시켜 일체화된 모노블록화를 가능케 합니다.

• Optical Contact Bonding Resistance : 15kg/ cm2
• Contacted Surface Distance : <100nm
• High performance for surface figure and roughness
• Optical contact and Deep Optical Contact methods are possible
• Outstanding environmental stability